一(yi)、PVD涂層制備過程中的常見外表缺點
1、大液滴
是PVD涂(tu)層(ceng)(ceng)制備過程中，高能(neng)離子轟擊靶材獲得高堆積功(gong)率工(gong)況下的(de)典型(xing)缺(que)點(dian)，一(yi)般顆粒的(de)三維尺度(du)比較均(jun)勻(yun)，大(da)于1.5um，是嚴重影響刀(dao)具(ju)加工(gong)精(jing)度(du)的(de)涂(tu)層(ceng)(ceng)缺(que)點(dian)，對刀(dao)具(ju)的(de)重復(fu)定位精(jing)度(du)和加工(gong)件的(de)外表(biao)質量有影響。
2、結(jie)瘤與片狀凸出
是由于真空室內的顆(ke)粒或者基體(ti)外表的顆(ke)粒在涂層堆積(ji)(ji)曾經附著在基體(ti)外表，跟著堆積(ji)(ji)存在于涂層當(dang)中(zhong)，往(wang)往(wang)是較為松軟(ruan)的涂層缺點，缺點的面(mian)積(ji)(ji)尺(chi)度(du)往(wang)往(wang)大(da)大(da)的大(da)于高度(du)，在運用中(zhong)易于剝落。
3、空泛或盤(pan)形坑
PVD涂(tu)層中存(cun)在與涂(tu)層的結合不(bu)牢的外(wai)來顆粒(li)在高應(ying)力(li)效(xiao)果下進行(xing)自發掉(diao)落，構成(cheng)(cheng)空泛缺點；基(ji)體之間存(cun)在污染，在真空室冷卻時由于熱應(ying)力(li)效(xiao)果而掉(diao)落構成(cheng)(cheng)盤形(xing)坑或露出(chu)基(ji)體缺點。
4、針孔或氣泡
當基體外表(biao)存在狹窄的凹(ao)坑時，涂(tu)層堆(dui)積過(guo)程中在凹(ao)坑邊優先(xian)生長，逐漸構(gou)成涂(tu)層針孔缺點(dian)，而進行外表(biao)拋光處理時，這種(zhong)缺點(dian)外表(biao)一(yi)層薄(bo)薄(bo)的涂(tu)層被磨掉，露出出來。氣泡是100-400nm微顆粒，真空(kong)室(shi)內構(gou)成片狀，當他們穿過(guo)等離子體時能夠得到電荷，這種(zhong)離子能夠到達基體外表(biao)，并且(qie)在電荷的效(xiao)果下被固定在基體外表(biao)，堆(dui)積過(guo)程中構(gou)成氣泡式缺點(dian)。
二、處理PVD涂層外表缺(que)點的常(chang)用(yong)辦法(fa)
1、真空(kong)拋光(guang)處
真空腔(qiang)體(ti)(ti)以及內部部件(jian)的(de)氣(qi)體(ti)(ti)放(fang)出量(liang)，和(he)材(cai)料的(de)外(wai)(wai)(wai)表(biao)(biao)積直(zhi)接(jie)相關。固體(ti)(ti)外(wai)(wai)(wai)表(biao)(biao)的(de)原子(zi)密度大約為(wei)2×1019 m-2，考慮到外(wai)(wai)(wai)表(biao)(biao)的(de)高(gao)低(di)不(bu)平(ping)，實踐的(de)固體(ti)(ti)外(wai)(wai)(wai)表(biao)(biao)會(hui)吸(xi)附(fu)大量(liang)的(de)氣(qi)體(ti)(ti)分(fen)子(zi)。通過拋(pao)光(guang)(guang)使外(wai)(wai)(wai)表(biao)(biao)更加平(ping)坦，能夠大大減(jian)小外(wai)(wai)(wai)表(biao)(biao)積，從而削減(jian)外(wai)(wai)(wai)表(biao)(biao)吸(xi)附(fu)的(de)氣(qi)體(ti)(ti)分(fen)子(zi)。拋(pao)光(guang)(guang)主要有玻璃丸(wan)噴砂和(he)電(dian)解拋(pao)光(guang)(guang)兩種手(shou)法(fa)。
2、超聲(sheng)波(bo)清洗
超(chao)聲(sheng)波(bo)(bo)清(qing)洗是(shi)使(shi)(shi)用(yong)超(chao)聲(sheng)波(bo)(bo)在液(ye)(ye)體(ti)中的空化效果、加速度效果及(ji)直(zhi)進流效果對液(ye)(ye)體(ti)和污物(wu)直(zhi)接、直(zhi)接的效果，使(shi)(shi)污物(wu)層被渙散(san)、乳化、剝離而到達(da)清(qing)洗意圖。向(xiang)液(ye)(ye)體(ti)導入超(chao)聲(sheng)波(bo)(bo)后，液(ye)(ye)體(ti)的激烈運(yun)動使(shi)(shi)局部(bu)(bu)發(fa)生壓(ya)強差。壓(ya)強低的部(bu)(bu)分會(hui)(hui)(hui)發(fa)生大量(liang)的氣(qi)(qi)泡，當壓(ya)強從(cong)(cong)頭升高(gao)時，這些(xie)氣(qi)(qi)泡會(hui)(hui)(hui)在瞬間決裂，從(cong)(cong)而在液(ye)(ye)體(ti)中發(fa)生沖(chong)擊波(bo)(bo)。沖(chong)擊波(bo)(bo)會(hui)(hui)(hui)將(jiang)固體(ti)外(wai)表的油污剝離。超(chao)聲(sheng)波(bo)(bo)清(qing)洗用(yong)的液(ye)(ye)體(ti)一(yi)般采用(yong)酒(jiu)精(jing)(jing)或丙(bing)酮。通過超(chao)聲(sheng)波(bo)(bo)清(qing)洗的部(bu)(bu)件(jian)放到大氣(qi)(qi)中后，酒(jiu)精(jing)(jing)或丙(bing)酮會(hui)(hui)(hui)馬上蒸(zheng)騰，不會(hui)(hui)(hui)在部(bu)(bu)件(jian)外(wai)表留下水垢。
